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Nano-scale PMOSFET에서 Plasma Nitrided Oixde에 대한 소자 특성의 의존성
Nano-scale PMOSFET에서 Plasma Nitrided Oixde에 대한 소자 특성의 의존성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 한인식
- 서명/저자
- Nano-scale PMOSFET에서 Plasma Nitrided Oixde에 대한 소자 특성의 의존성 / 한인식 , 지희환, 구태규, 유욱상, 최원호, 박성형, 이희승, 강영석, 김대병, 이희덕 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 569-574
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60232937
MARC
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