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HMDS 단일 전구체를 이용한 다결정 3C-SiC 박막 성장
HMDS 단일 전구체를 이용한 다결정 3C-SiC 박막 성장
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 정귀상
- 서명/저자
- HMDS 단일 전구체를 이용한 다결정 3C-SiC 박막 성장 / 정귀상 , 김강산, 한기봉 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 156-161
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 김강산, 한기봉
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60232927
MARC
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