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BTS 방법을 사용한 Low-K 유전체 물질들과 산화막의 Cu 드리프트 확산에 대한 비교 연구
BTS 방법을 사용한 Low-K 유전체 물질들과 산화막의 Cu 드리프트 확산에 대한 비교 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 추순남
- 서명/저자
- BTS 방법을 사용한 Low-K 유전체 물질들과 산화막의 Cu 드리프트 확산에 대한 비교 연구 / 추순남 , 권정열, 김장원, 박정철, 이헌용 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 106-112
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 권정열, 김장원, 박정철, 이헌용
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60232911
MARC
008190930s2007 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a추순남
■24510▼aBTS 방법을 사용한 Low-K 유전체 물질들과 산화막의 Cu 드리프트 확산에 대한 비교 연구▼d추순남▼e권정열, 김장원, 박정철, 이헌용 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2007.
■300 ▼app. 106-112
■500 ▼a권말 색인 및 참고문헌 수록
■7001 ▼a권정열, 김장원, 박정철, 이헌용
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제20권 제2호 (2007년 2월)▼d2007, 02
■856 ▼uhttp://kieeme.or.kr
■SIS ▼aS037448▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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