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Cu CMP에서의 연마 균일성에 관한 기계적 해석
Cu CMP에서의 연마 균일성에 관한 기계적 해석
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 이현섭
- 서명/저자
- Cu CMP에서의 연마 균일성에 관한 기계적 해석 / 이현섭 , 박범영, 정해도, 김형재 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 74-79
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 박범영, 정해도, 김형재
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60232893
MARC
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제20권 제1호 (2007년 1월)▼d2007, 01
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■SIS ▼aS037052▼b60055323▼h8▼s2
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