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반응성 스퍼터링법으로 Al/AIN/GaAs 커패시터 제조시 (NH4)2S 처리에 따른 전기적 특성
반응성 스퍼터링법으로 Al/AIN/GaAs 커패시터 제조시 (NH4)2S 처리에 따른 전기적 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 추순남
- 서명/저자
- 반응성 스퍼터링법으로 Al/AIN/GaAs 커패시터 제조시 (NH4)2S 처리에 따른 전기적 특성 / 추순남 , 권정열, 박정철, 이헌용 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 8-13
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 권정열, 박정철, 이헌용
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60232875
MARC
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