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ISSN  

12267244

저자명  

이상헌

서명/저자  

급속 열처리에 따른 Cu/TiN/Si 박막의 구리 확산 특성 연구 / 이상헌 , 김영민, 조남인 공저

발행사항  

서울 : 한국전기전자학회, 2000.

형태사항  

pp. 27-34

주기사항  

참고문헌 수록

기타저자  

김영민, 조남인

기본자료저록  

전기전자학회 논문지= Journal of IKEEE : 제4권 제1호 (2000년 7월) 2000, 07

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kjul:60231811