Material Type  

 기사

ISSN  

12267244

Author  

이상헌

Title/Author  

급속 열처리에 따른 Cu/TiN/Si 박막의 구리 확산 특성 연구 / 이상헌 ; 김영민, 조남인 공저

Publish Info  

서울 : 한국전기전자학회, 2000.

Material Info  

pp. 27-34

General Note  

참고문헌 수록

Added Entry-Personal Name  

김영민, 조남인

Host Item Entry  

전기전자학회 논문지= Journal of IKEEE : 제4권 제1호 (2000년 7월) 2000, 07

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