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UV Laser를 이용한 광화학적 패터닝과 습식에칭에 따른 알칸티올 분자 작용기의 특성 연구
UV Laser를 이용한 광화학적 패터닝과 습식에칭에 따른 알칸티올 분자 작용기의 특성 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12259071
- 저자명
- 허갑수
- 서명/저자
- UV Laser를 이용한 광화학적 패터닝과 습식에칭에 따른 알칸티올 분자 작용기의 특성 연구 / 허갑수 , 장원석 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국정밀공학회, 2007.
- 형태사항
- pp. 104-109
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 장원석
- 기본자료저록
- 한국정밀공학회지=Journal of Korean Society for Precision Engineering : Vol. 24 No. 5 (2007년 5월) 2007, 05
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60223855
MARC
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