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초소형 고밀도 정보저장장치를 위한 고종횡비의 팁을 갖는 정전 구동형 폴리 실리콘 프로브 어레이 개발
초소형 고밀도 정보저장장치를 위한 고종횡비의 팁을 갖는 정전 구동형 폴리 실리콘 프로브 어레이 개발
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12259071
- 저자명
- 전종업
- 서명/저자
- 초소형 고밀도 정보저장장치를 위한 고종횡비의 팁을 갖는 정전 구동형 폴리 실리콘 프로브 어레이 개발 / 전종업 , 이창수,최재준,민동기ㅡ전동렬 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국정밀공학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 166-173
- 주기사항
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 이창수,최재준,민동기ㅡ전동렬
- 기본자료저록
- 한국정밀공학회지=Journal of Korean Society for Precision Engineering : Vol. 23 No. 6 (2006년 6월) 2006, 06
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60223605
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