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Damascence 프로세스의 적용상의 문제점 및 특허 문헌에 나타난 해결방안
Damascence 프로세스의 적용상의 문제점 및 특허 문헌에 나타난 해결방안
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267937
- Author
- 최훈식
- Title/Author
- Damascence 프로세스의 적용상의 문제점 및 특허 문헌에 나타난 해결방안 / 최훈식 저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- Material Info
- pp. 19-29
- General Note
- 권말 색인 및 참고문헌 수록
- Host Item Entry
- 전기전자재료(Bulletin of the Korean Institute of Electrical & Electron : 제13권 제6호 (2000. 6) 2000, 06
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60219999
MARC
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