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NH4OH-H2O2-H2O 혼합액을 이용한 GaAS의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 사각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작 방법
NH4OH-H2O2-H2O 혼합액을 이용한 GaAS의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 사각형 단면...
NH4OH-H2O2-H2O 혼합액을 이용한 GaAS의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 사각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작 방법

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12255475
저자명  
김종팔
서명/저자  
NH4OH-H2O2-H2O 혼합액을 이용한 GaAS의 습식식각 특성 연구 및 이를 이용한 부유된 사각형 단면을 가지는 GaAs 미세구조물의 제작 방법 / 김종팔 , 박상준, 백승준, 김세태, 구치완, 이승기, 조동일 공저
발행사항  
서울 : 한국센서학회, 2001.
형태사항  
pp. 304-313
주기사항  
권말 색인및 참고문헌수록
기타저자  
박상준, 백승준, 김세태, 구치완, 이승기, 조동일
기본자료저록  
센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society : 제10권 제5호 (2001년 9월) 2001, 09
원문정보  
 url
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60219711

MARC

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