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 기사

ISSN  

12255475

저자명  

정영철

서명/저자  

보호용 실리콘 산화막을 이용하여 제조된 Al2O3 예비층이 초박막 r-Al2O3 에피텍시의 성장에 미치는 영향 / 정영철 , 전본근, 석전성 공저

발행사항  

서울 : 한국센서학회, 2000.

형태사항  

pp. 389-395

주기사항  

권말 참고문헌 수록

기타저자  

전본근, 석전성

기본자료저록  

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society : 제9권 제5호 (2000년 9월) 2000, 09

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kjul:60219678