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 기사

ISSN  

12255475

저자명  

이상철

서명/저자  

트렌치 산화막을 이용한 단결정실리콘 MEMS 구조물의 절연기술에 관한 연구 / 이상철 , 김임정, 김종팔, 박상준, 이상우, 조동일 공저

발행사항  

서울 : 한국센서학회, 2000.

형태사항  

pp. 297-306

주기사항  

권말 참고문헌 수록

기타저자  

김임정, 김종팔, 박상준, 이상우, 조동일

기본자료저록  

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society : 제9권 제4호 (2000년 7월) 2000, 07

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Control Number  

kjul:60219662