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페닝 소스 스퍼터링 장치를 이용한 결정성 질화탄소막의 성장 및 물리적 특성
페닝 소스 스퍼터링 장치를 이용한 결정성 질화탄소막의 성장 및 물리적 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12255475
- 저자명
- 이성필
- 서명/저자
- 페닝 소스 스퍼터링 장치를 이용한 결정성 질화탄소막의 성장 및 물리적 특성 / 이성필 , Shaestagir Chowdhury 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국센서학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 248-255
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- Shaestagir Chowdhury
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60219652
MARC
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■7001 ▼aShaestagir Chowdhury
■773 ▼t센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society▼g제9권 제3호 (2000년 5월)▼d2000, 05
■856 ▼uhttp://www.sensors.or.kr
■SIS ▼aS019030▼b60072478▼h8▼s2▼fP
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