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표면 미세 가공된 측면형 전계 방출 소자를 이용한 초소형 진공 센서의 제작
표면 미세 가공된 측면형 전계 방출 소자를 이용한 초소형 진공 센서의 제작
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12255475
- 저자명
- 박흥우
- 서명/저자
- 표면 미세 가공된 측면형 전계 방출 소자를 이용한 초소형 진공 센서의 제작 / 박흥우 , 주병권, 이윤희, 박정호, 오명환 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국센서학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 182-189
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 주병권, 이윤희, 박정호, 오명환
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60219636
MARC
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■773 ▼t센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society▼g제9권 제3호 (2000년 5월)▼d2000, 05
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