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나노선 연구에 있어서의 전자빔 식각기술의 응용
나노선 연구에 있어서의 전자빔 식각기술의 응용
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267937
- 저자명
- 김강현
- 서명/저자
- 나노선 연구에 있어서의 전자빔 식각기술의 응용 / 김강현 , 김규태 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 17-21
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 김규태
- 기본자료저록
- 전기전자재료(Bulletin of the Korean Institute of Electrical & Electron : 제17권 제6호 (2004. 6) 2004, 06
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60219488
MARC
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