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Cu seed layer 표면의 플라즈마 전처리가 Cu 전기도금 공정에 미치는 효과에 관한 연구
Cu seed layer 표면의 플라즈마 전처리가 Cu 전기도금 공정에 미치는 효과에 관한 연구
상세정보
MARC
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■1001 ▼a오준환
■24510▼aCu seed layer 표면의 플라즈마 전처리가 Cu 전기도금 공정에 미치는 효과에 관한 연구▼d오준환▼e이성욱, 이종무 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2001.
■300 ▼app. 802-809
■500 ▼a권말색인 및 참고문헌수록
■7001 ▼a이성욱, 이종무
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 11, No. 9, (2001 September)▼d2001, 09
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014201▼b60055267▼h8▼s2▼fP


