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쵸크랄스키 Silicon 단결정의 Large Pit과 Flow Pattern defect의 열적 거동과 Large Pit의 소자 수율에의 영향
쵸크랄스키 Silicon 단결정의 Large Pit과 Flow Pattern defect의 열적 거동과 Large Pit의 소자 수율에의 영향
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 송영민,
- 서명/저자
- 쵸크랄스키 Silicon 단결정의 Large Pit과 Flow Pattern defect의 열적 거동과 Large Pit의 소자 수율에의 영향 송영민, 문영희, 김종오, 조기현 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 781-785
- 주기사항
- 권말색인 및 참고문헌수록
- 기타저자
- 문영희, 김종오, 조기현
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60219146
MARC
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