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2단계 증착법으로 제조된 Pb(Zr, Ti)O3압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구
2단계 증착법으로 제조된 Pb(Zr, Ti)O3압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 김혁환
- 서명/저자
- 2단계 증착법으로 제조된 Pb(Zr, Ti)O3압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구 / 김혁환 , 이강운, 이원종, 남효진 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 769-775
- 주기사항
- 권말색인 및 참고문헌수록
- 기타저자
- 이강운, 이원종, 남효진
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60219142
MARC
008190604s2001 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a김혁환
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■7001 ▼a이강운, 이원종, 남효진
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 11, No. 9, (2001 September)▼d2001, 09
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■SIS ▼aS014201▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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