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2단계 증착법으로 제조된 Pb(Zr, Ti)O3압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구
2단계 증착법으로 제조된 Pb(Zr, Ti)O3압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12250562
- Author
- 김혁환
- Title/Author
- 2단계 증착법으로 제조된 Pb(Zr, Ti)O3압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구 / 김혁환 ; 이강운, 이원종, 남효진 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국재료학회, 2001.
- Material Info
- pp. 769-775
- General Note
- 권말색인 및 참고문헌수록
- Added Entry-Personal Name
- 이강운, 이원종, 남효진
- Host Item Entry
- 한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 11, No. 9, (2001 September) 2001, 09
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60219142
MARC
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