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Low-k Polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구
Low-k Polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구
Detailed Information
MARC
008190604s2000 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a문호성
■24510▼aLow-k Polyimide상의 금속배선 형성을 위한 식각 기술 연구▼d문호성▼e김상훈, 안진호 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2000.
■300 ▼app. 450-455
■500 ▼a권말색인 및 참고문헌수록
■7001 ▼a김상훈, 안진호
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 10, No. 6, (2000 June)▼d2000, 06
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014186▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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