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AFM을 이용한 PECVD에 의해 증착된 Sb-doped SnO2 박막의 표면형상에 관한 연구
AFM을 이용한 PECVD에 의해 증착된 Sb-doped SnO2 박막의 표면형상에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 윤석영
- 서명/저자
- AFM을 이용한 PECVD에 의해 증착된 Sb-doped SnO2 박막의 표면형상에 관한 연구 / 윤석영 , 김근수, 이원재, 김광호 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 525-531
- 주기사항
- 권말색인 및 참고문헌수록
- 기타저자
- 김근수, 이원재, 김광호
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60219046
MARC
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