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CH4-H2-N2 기체계에서 MW-PACVD를 이용한 결정상 합성
CH4-H2-N2 기체계에서 MW-PACVD를 이용한 결정상 합성
상세정보
MARC
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■1001 ▼a김도근
■24510▼aCH4-H2-N2 기체계에서 MW-PACVD를 이용한 결정상 합성▼d김도근▼e백영준, 성태연 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2000.
■300 ▼app. 648-655
■500 ▼a권말색인 및 참고문헌수록
■7001 ▼a백영준, 성태연
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 10, No. 9, (2000 September)▼d2000, 09
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014189▼b60055267▼h8▼s2▼fP
