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Magnetron sputtering 법으로 제조된 Al-1%Cu/Tungsten Nitride 다층 박막
Magnetron sputtering 법으로 제조된 Al-1%Cu/Tungsten Nitride 다층 박막
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 이기선
- 서명/저자
- Magnetron sputtering 법으로 제조된 Al-1%Cu/Tungsten Nitride 다층 박막 / 이기선 , 김장현, 서수정, 김남철 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 624-628
- 주기사항
- 권말색인 및 참고문헌수록
- 기타저자
- 김장현, 서수정, 김남철
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60219039
MARC
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