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선형열처리법으로 직접 접합된 Si 기관 및 산화된 Si 기판의 접합 특성
선형열처리법으로 직접 접합된 Si 기관 및 산화된 Si 기판의 접합 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 이진우
- 서명/저자
- 선형열처리법으로 직접 접합된 Si 기관 및 산화된 Si 기판의 접합 특성 / 이진우 , 강춘식,송오성,류지호 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 665-670
- 주기사항
- 권말색인 및 참고문헌수록
- 기타저자
- 강춘식,송오성,류지호
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60219018
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