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Ti 또는 Ti/TiN underlayer가 Al 박막의 배향성 및 면저항에 미치는 영향
Ti 또는 Ti/TiN underlayer가 Al 박막의 배향성 및 면저항에 미치는 영향
상세정보
MARC
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■1001 ▼a이원준
■24510▼aTi 또는 Ti/TiN underlayer가 Al 박막의 배향성 및 면저항에 미치는 영향 ▼d이원준▼e나사균 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2000.
■300 ▼app. 90-96
■500 ▼a권말 참고문헌 수록
■7001 ▼a나사균
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 10, No. 1, (2000 January)▼d2000, 01
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014181▼b60055267▼h8▼s2▼fP


