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ISSN  

12250562

저자명  

이기선

서명/저자  

Sputtering법으로 제조된 tungsten nitride 박막의 저항변화에 미치는 급속 열처리 영향 / 이기선 저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2000.

형태사항  

pp. 29-33

주기사항  

권말 참고문헌 수록

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 10, No. 1, (2000 January) 2000, 01

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kjul:60218923