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Co/Ni 복합실리사이드의 메탈 콘택 건식식각 안정성 연구
Co/Ni 복합실리사이드의 메탈 콘택 건식식각 안정성 연구
상세정보
MARC
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■1001 ▼a송오성
■24510▼aCo/Ni 복합실리사이드의 메탈 콘택 건식식각 안정성 연구▼d송오성▼e범성진, 김득중 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 573-578
■500 ▼a권말 색인 및 참고문헌 수록
■7001 ▼a범성진, 김득중
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 14, No. 8, (2004 August)▼d2004, 08
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014236▼b60055267▼h8▼s2▼fP
