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복합 코발트 실리사이드 공정에 따른 게이트 산화막의 특성변화
복합 코발트 실리사이드 공정에 따른 게이트 산화막의 특성변화
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 송오성
- 서명/저자
- 복합 코발트 실리사이드 공정에 따른 게이트 산화막의 특성변화 / 송오성 , 정성희, 이상돈, 이기영, 류지호 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 711-716
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 정성희, 이상돈, 이기영, 류지호
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218843
MARC
008190603s2003 ulk aa kor■022 ▼a12250562
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■500 ▼a권말 참고문헌 수록
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■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 13, No. 11, (2003 November)▼d2003, 11
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014227▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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