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복합 코발트 실리사이드 공정에 따른 게이트 산화막의 특성변화
복합 코발트 실리사이드 공정에 따른 게이트 산화막의 특성변화
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 송오성
- 서명/저자
- 복합 코발트 실리사이드 공정에 따른 게이트 산화막의 특성변화 / 송오성 , 정성희, 이상돈, 이기영, 류지호 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 711-716
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 정성희, 이상돈, 이기영, 류지호
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218843
MARC
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