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중수소 프라즈마 처리가 다결정 실리콘 TFT의 안정성에 미치는 영향에 관한 연구
중수소 프라즈마 처리가 다결정 실리콘 TFT의 안정성에 미치는 영향에 관한 연구 / 손송호 , 배...
중수소 프라즈마 처리가 다결정 실리콘 TFT의 안정성에 미치는 영향에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12250562
저자명  
손송호
서명/저자  
중수소 프라즈마 처리가 다결정 실리콘 TFT의 안정성에 미치는 영향에 관한 연구 / 손송호 , 배성찬, 김동환 공저
발행사항  
서울 : 한국재료학회, 2004.
형태사항  
pp. 516-521
주기사항  
권말 색인 및 참고문헌 수록
기타저자  
배성찬, 김동환
기본자료저록  
한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 14, No. 7, (2004 July) 2004, 07
원문정보  
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모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60218755

MARC

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