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중수소 프라즈마 처리가 다결정 실리콘 TFT의 안정성에 미치는 영향에 관한 연구
중수소 프라즈마 처리가 다결정 실리콘 TFT의 안정성에 미치는 영향에 관한 연구
상세정보
MARC
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■1001 ▼a손송호
■24510▼a중수소 프라즈마 처리가 다결정 실리콘 TFT의 안정성에 미치는 영향에 관한 연구▼d손송호▼e배성찬, 김동환 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 516-521
■500 ▼a권말 색인 및 참고문헌 수록
■7001 ▼a배성찬, 김동환
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 14, No. 7, (2004 July)▼d2004, 07
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014235▼b60055267▼h8▼s2▼fP


