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 기사

ISSN  

12250562

저자명  

유승한

서명/저자  

초 저 에너지 이온주입으로 고 조사량 B 이온 주입된 실리콘의 deactivation 현상 / 유승한 , 노재상 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2003.

형태사항  

pp. 398-403

주기사항  

권말 참고문헌 수록

기타저자  

노재상

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 13, No. 6, (2003 June) 2003, 06

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kjul:60218753