서브메뉴
검색
반도체 메모리 소자 응용을 위한 TaSiN 확산 방지층의 산화 저항성
반도체 메모리 소자 응용을 위한 TaSiN 확산 방지층의 산화 저항성
상세정보
MARC
008190603s2000 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a신웅철
■24510▼a반도체 메모리 소자 응용을 위한 TaSiN 확산 방지층의 산화 저항성▼d신웅철▼e이응민, 최영심, 최규정, 최은석, 전영아, 박종봉, 윤순길 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2000.
■300 ▼app. 749-764
■500 ▼a권말 색인및 참고문헌수록
■7001 ▼a이응민, 최영심, 최규정, 최은석, 전영아, 박종봉, 윤순길
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 10, No. 11, (2000 November)▼d2000, 11
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014191▼b60055267▼h8▼s2▼fP
