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반도체 메모리 소자 응용을 위한 TaSiN 확산 방지층의 산화 저항성
반도체 메모리 소자 응용을 위한 TaSiN 확산 방지층의 산화 저항성
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12250562
- Author
- 신웅철
- Title/Author
- 반도체 메모리 소자 응용을 위한 TaSiN 확산 방지층의 산화 저항성 / 신웅철 ; 이응민, 최영심, 최규정, 최은석, 전영아, 박종봉, 윤순길 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국재료학회, 2000.
- Material Info
- pp. 749-764
- General Note
- 권말 색인및 참고문헌수록
- Added Entry-Personal Name
- 이응민, 최영심, 최규정, 최은석, 전영아, 박종봉, 윤순길
- Host Item Entry
- 한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 10, No. 11, (2000 November) 2000, 11
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218711
MARC
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