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플라즈마 공정 변수가 TiO2±δ 박막 형성에 미치는 영향
플라즈마 공정 변수가 TiO2±δ 박막 형성에 미치는 영향
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 박상기
- 서명/저자
- 플라즈마 공정 변수가 TiO2±δ 박막 형성에 미치는 영향 / 박상기 , 강봉주, 이원희, 이재갑 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 732-737
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 강봉주, 이원희, 이재갑
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218704
MARC
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