자료유형  

 기사

ISSN  

12250562

저자명  

임완태

서명/저자  

BCl₃ 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs 건식식각 / 임완태 , 백인규, 정필구, 이제원, 조관식, 이주인, 조국산, S.J Pearton 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2003.

형태사항  

pp. 266-270

주기사항  

권말 참고문헌 수록

기타저자  

백인규, 정필구, 이제원, 조관식, 이주인, 조국산, S.J Pearton

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 13, No. 4, (2003 April) 2003, 04

원문정보  

 url

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

kjul:60218697