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차세대 노광공정용 Ta박막의 0.2μm 미세패턴 식각특성 연구
차세대 노광공정용 Ta박막의 0.2μm 미세패턴 식각특성 연구
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 우상균
- 서명/저자
- 차세대 노광공정용 Ta박막의 0.2μm 미세패턴 식각특성 연구 / 우상균 , 김상훈, 주섭열, 안진호 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 819-824
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 김상훈, 주섭열, 안진호
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218680
MARC
008190603s2000 ulk aa kor■022 ▼a12250562
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■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 10, No. 12, (2000 Devember)▼d2000, 12
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■SIS ▼aS014192▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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