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게르마늄 Prearmophization 이온주입을 이용한 티타늄 salicide 접합부 특성 개선
게르마늄 Prearmophization 이온주입을 이용한 티타늄 salicide 접합부 특성 개선
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 김삼동
- 서명/저자
- 게르마늄 Prearmophization 이온주입을 이용한 티타늄 salicide 접합부 특성 개선 / 김삼동 , 이성대, 이진구, 황인석, 박대규 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 812-818
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 이성대, 이진구, 황인석, 박대규
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218677
MARC
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