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 기사

ISSN  

12250562

저자명  

문형모

서명/저자  

PECVD로 제조된 비정질 질화탄소 박막의 특성에 미치는 증착변수의 영향 / 문형모 , 김상섭 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2003.

형태사항  

pp. 150-154

주기사항  

권말 참고문헌 수록

기타저자  

김상섭

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 13, No. 3, (2003 March) 2003, 03

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kjul:60218641