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 기사

ISSN  

12250562

저자명  

허재성

서명/저자  

Ferroelectric 캐패시터의 하부전극에의 응용을 위한 IrO₂ 박막 증착 및 특성분석 / 허재성 , 최훈상, 김도영, 장유민, 이장혁, 최인훈 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2003.

형태사항  

pp. 69-73

주기사항  

권말 참고문헌 수록

기타저자  

최훈상, 김도영, 장유민, 이장혁, 최인훈

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 13, No. 2, (2003 February) 2003, 02

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kjul:60218602