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실리콘 웨이퍼 직접 접합에서 기포형 접합 결합에 관한 연구
실리콘 웨이퍼 직접 접합에서 기포형 접합 결합에 관한 연구 문도민, 홍진균, 유학도, 정해도  ...
실리콘 웨이퍼 직접 접합에서 기포형 접합 결합에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12250562
저자명  
문도민,
서명/저자  
실리콘 웨이퍼 직접 접합에서 기포형 접합 결합에 관한 연구 문도민, 홍진균, 유학도, 정해도 공저
발행사항  
서울 : 한국재료학회, 2001.
형태사항  
pp. 159-163
주기사항  
권말 색인및 참고문헌수록
기타저자  
홍진균, 유학도, 정해도
기본자료저록  
한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 11, No. 3, (2001 March) 2001, 03
원문정보  
 url
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60218560

MARC

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