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실리콘 웨이퍼 직접 접합에서 기포형 접합 결합에 관한 연구
실리콘 웨이퍼 직접 접합에서 기포형 접합 결합에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 문도민,
- 서명/저자
- 실리콘 웨이퍼 직접 접합에서 기포형 접합 결합에 관한 연구 문도민, 홍진균, 유학도, 정해도 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 159-163
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 홍진균, 유학도, 정해도
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218560
MARC
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