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 기사

ISSN  

12250562

저자명  

정성희

서명/저자  

티타늄과 코발트 박막의 산화규소 스페이서에 대한 열적안정성 / 정성희 , 송오성, 김민성 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2002.

형태사항  

pp. 865-869

주기사항  

권말 참고문헌 수록

기타저자  

송오성, 김민성

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 12, No. 11, (2002 November) 2002, 11

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kjul:60218537