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열처리 방법에 따른 SOI 기판의 스트레스변화
열처리 방법에 따른 SOI 기판의 스트레스변화 / 서태윤 , 이상현, 송오성 공저
열처리 방법에 따른 SOI 기판의 스트레스변화

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12250562
저자명  
서태윤
서명/저자  
열처리 방법에 따른 SOI 기판의 스트레스변화 / 서태윤 , 이상현, 송오성 공저
발행사항  
서울 : 한국재료학회, 2002.
형태사항  
pp. 820-824
주기사항  
권말 참고문헌 수록
기타저자  
이상현, 송오성
기본자료저록  
한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 12, No. 10, (2002 Octoberl) 2002, 10
원문정보  
 url
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60218515

MARC

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