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 기사

ISSN  

12250562

저자명  

서태윤

서명/저자  

열처리 방법에 따른 SOI 기판의 스트레스변화 / 서태윤 , 이상현, 송오성 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2002.

형태사항  

pp. 820-824

주기사항  

권말 참고문헌 수록

기타저자  

이상현, 송오성

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 12, No. 10, (2002 Octoberl) 2002, 10

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kjul:60218515