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신경망을 이용한 반도체 공정 시뮬레이터 : 포토공정 오버레이 사례연구
신경망을 이용한 반도체 공정 시뮬레이터 : 포토공정 오버레이 사례연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12255904
- 저자명
- 박상훈
- 서명/저자
- 신경망을 이용한 반도체 공정 시뮬레이터 : 포토공정 오버레이 사례연구 / 박상훈 , 서상혁, 김지현, 김성식 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국시뮬레이션학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 55-68
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 서상혁, 김지현, 김성식
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218511
MARC
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■773 ▼t한국시뮬레이션학회논문지(Journal of the Korea Society for Simulation)▼g제14권 제4호 (2005년 12월)▼d2005, 12
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