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메모리소자를 위한 Ti1-xAlxN 방지막의 산화 거동
메모리소자를 위한 Ti1-xAlxN 방지막의 산화 거동 / 박상식 저
메모리소자를 위한 Ti1-xAlxN 방지막의 산화 거동

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12250562
저자명  
박상식
서명/저자  
메모리소자를 위한 Ti1-xAlxN 방지막의 산화 거동 / 박상식 저
발행사항  
서울 : 한국재료학회, 2002.
형태사항  
pp. 718-723
주기사항  
권말 참고문헌 수록
기본자료저록  
한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 12, No. 9, (2002 September) 2002, 09
원문정보  
 url
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60218470

MARC

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