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 기사

ISSN  

12250562

저자명  

윤효섭

서명/저자  

전리수를 이용한 실리콘 웨이퍼 세정 / 윤효섭 , 류근걸 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2001.

형태사항  

pp. 251-257

주기사항  

권말 색인및 참고문헌수록

기타저자  

류근걸

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 11, No. 4, (2001 April) 2001, 04

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kjul:60218450