자료유형  

 기사

ISSN  

12250562

저자명  

이종무

서명/저자  

Cu-MOCVD를 위한 TiN기판의 플라즈마 전처리 / 이종무 , 임종민, 박웅 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2001.

형태사항  

pp. 361-366

주기사항  

권말 색인및 참고문헌수록

기타저자  

임종민, 박웅

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 11, No. 5, (2001 May) 2001, 05

원문정보  

 url

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

kjul:60218407