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Cu oxide의 형성과 H(hfac) 반응을 이용한 Cu 박막의 건식식각
Cu oxide의 형성과 H(hfac) 반응을 이용한 Cu 박막의 건식식각
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 양희정
- 서명/저자
- Cu oxide의 형성과 H(hfac) 반응을 이용한 Cu 박막의 건식식각 / 양희정 , 홍성진, 조범석, 이원희, 이재갑 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 527-532
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌수록
- 기타저자
- 홍성진, 조범석, 이원희, 이재갑
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218384
MARC
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■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 11, No. 6, (2001 June)▼d2001, 06
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■SIS ▼aS014198▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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